精密儀器概論

本書作者群的共識是撰寫一本能夠簡潔地介紹每部儀器的《精密儀器概論》專書，讓學生上課時可以翻閱比對教授的上課內容以提升其學習成效，亦可提供學生自修用，以及在操作儀器或解讀實驗數據有不明白之處可以快速地找到答案。希望本書能成為設有貴儀服務單位之大專院校的重要參考書籍，讓國內眾多學生自行操作或委託操作貴重儀器時，能夠有一本專業的參考書籍協助他們快速地了解儀器的量測原理及實驗數據的分析方法。

劉柏村
現任：交通大學光電工程系教授兼系主任
學歷：交通大學電子研究所博士
經歷：交通大學光電工程系系主任；交通大學顯示科技研究所所長；交通大學光電工程系代理系主任；交通大學光電工程學系教授；美國史丹福大學電機系訪問教授；中國電機工程學會「優秀青年電機工程師獎」；交通大學光電工程學系副教授；財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室生化/光電組組長；行政院國科會國家奈米元件實驗室副研究員
研究興趣：光電顯示科技與半導體電子元件技術
研究專長：薄膜電晶體元件技術、氧化物半導體材料與元件技術、薄膜太陽能電池技術、非揮發性記憶體元件技術(Flash, SONOS, RRAM)、半導體元件及積體電路製程技術、平面顯示元件與電路技術

鄭湘原
現任：中原大學電子工程學系教授
學歷：美國紐約州立大學電機與電腦工程學系博士、碩士；淡江大學電子工程學系學士
經歷：世界先進積體電路專案經理；中原大學電子工程學系助理教授、副教授、教授
研究興趣：積體電路製程與整合、半導體記憶元件、固態感測器
研究專長：積體電路製程、半導體記憶元件、固態感測器、電漿工程應用

翁敏航
現任：金屬工業研究發展中心醫療器材及光電設備處光電系統組副組長
學歷：成功大學電機博士、碩士、學士
經歷：成功大學電機所博士後研究；國家奈米元件實驗室副研究員；金屬工業研究發展中心醫療器材及光電設備處專案經理
研究興趣：射頻電漿系統、微波成像
研究專長：射頻被動元件、電子材料、科技專利

莊士卿
現任：交通大學應用化學系副教授
學歷：美國加州大學洛杉磯分校 (UCLA) 化學博士；清華大學化學碩士；東海大學化學學士
經歷：京都大學化學研究所研究員；交通大學應用化學系助理教授、副教授
研究興趣：碳簇化學、有機金屬催化反應及碳氫鍵活化、親核共軛加成反應新技術、有機太陽能電池
研究專長：有機分析、材料化學、有機金屬催化

黃立心
現任：交通大學應用化學系約聘助理教授
學歷：台灣大學化學研究所博士
經歷：中央研究院化學研究所博士後研究
研究興趣：化學及化學實驗教育
研究專長：分析化學、蛋白質質譜、感應耦合電漿質譜

李積琛
現任：交通大學應用化學系副教授
學歷：美國愛荷華州立大學博士
經歷：加拿大滑鐵盧大學博士後研究
研究興趣：熱電材料、乙醇轉氫材料、固態氧化物燃料電池材料
研究專長：固態化學

王雲銘
現任：交通大學生物科技學系教授及分子醫學與生物工程研究所所長
學歷：清華大學化學博士
經歷：高雄醫學大學生物科技學系主任
高雄醫學大學醫藥及應用化學系主任
交通大學生物科技學系教授
研究興趣：生物無機及分子影像
研究專長：釓金屬錯合物與超順磁氧化鐵磁振造影對比劑及活性氧化物、活性氮氧
化物等探針之研發

趙瑞益
現任：交通大學生物科技學系教授
學歷：清華大學生命科學博士
經歷：交通大學生物科技學系教授
研究興趣：癌症基因的分子調控與藥物開發、奈米鑽石的分子反應與生醫應用
研究專長：生化藥理學、癌症生物學、抗癌藥物學、細胞生物學、奈米生物醫學

張立
現任：交通大學材料科學與工程學系教授
學歷：英國牛津大學冶金及材料科學博士
經歷：工研院工材所研究員、國科會工程處研究員
研究興趣：材料微觀分析、薄膜與晶體成長、鑽石與寬能隙半導體材料
研究專長：電子顯微鏡學、磊晶成長

周苡嘉
現任：交通大學電子物理系助理教授
學歷：美國加州大學洛杉磯分校材料科學與工程學系博士；清華大學材料科學與工程學系學士
經歷：美國 IBM 華生研究中心物理科學部博士後研究員
研究興趣：材料動力學、固態相變化
研究專長：臨場電子顯微鏡、低微度奈米結構成長

周武清(主編)
現任：交通大學電子物理系教授兼系主任
學歷：美國紐約州立大學水牛城分校物理系博士；交通大學光電工程研究所碩士；交通大學電子物理系學士
經歷：交通大學貴儀中心主任；中原大學物理系副教授、教授；中原大學奈米科技中心主任
研究興趣：分子束磊晶技術成長氧化鋅及氮化鎵相關的光電與磁性半導體、光電與磁性半導體的光譜與陰極螢光光譜研究
研究專長：分子束磊晶技術、半導體光譜技術、陰極螢光光譜研究、凝態物理

林俊源
現任：交通大學物理研究所教授
學歷：美國紐約州立大學石溪分校物理博士
經歷：勞倫斯柏克萊國家實驗室先進光源訪問學者；交通大學物理研究所所長；交通大學物理研究所助理教授、副教授、教授；中山大學物理學系低溫物理實驗室博士後研究員
研究興趣：高溫超導體、低溫比熱、軟X光吸收光譜、錳氧化物磁性薄膜、金屬絕緣轉變
研究專長：凝態實驗、超導物理、磁性物理、強關聯系統、自旋電子學

第1章 薄膜沉積製程技術
第2章 微影製程系統
第3章 電漿蝕刻系統
第4章 核磁共振儀
第5章 質譜儀
第6章 X光粉末繞射儀
第7章 3D非侵入式活體分子影像系統
第8章 多光子共軛焦顯微鏡系統
第9章 穿透式電子顯微鏡學
第10章 低溫陰極螢光分析系統簡介
第11章 高精密度磁性量測系統——超導量子干涉儀