表面與薄膜處理技術 (電子書)

第1章 緒 論
一、表面處理的意義
二、表面處理的應用
三、表面處理的分類
四、技術選用考量因素
五、結 語

第2章 基本設備
一、溫度的量測
二、真空系統

第3章 認識電漿
一、電漿的產生
二、電漿的特性
三、電漿的化學反應
四、電漿在表面技術上的應用

第4章 物理蒸鍍
一、熱力學
二、氣體動力學
三、蒸 鍍
四、蒸鍍設備
五、合金蒸鍍
六、化合物蒸鍍
七、應 用

第5章 濺射鍍膜
一、前 言
二、粒子的撞擊
三、動能的轉移
四、撞擊效應
五、濺射的方法
六、濺射係數
七、濺射鍍膜技術
八、靶 材
九、濺鍍和熱蒸鍍的比較
十、應 用

第6章 化學氣相蒸鍍
一、前 言
二、化學問題
三、熱力學的問題
四、化學動力學的問題
五、CVD設備及系統
六、應 用

第7章 液相表面處理
一、前 言
二、前處理
三、無極電鍍
四、取代反應
五、化成被覆
六、電 鍍
七、陽極處理
八、電 鑄
九、廢水處理

第8章 薄膜的成長及微結構
一、前 言
二、表面前清理
三、薄膜的成長
四、微結構
五、磊 晶

第9章 薄膜特性及量測
一、前 言
二、厚 度
三、薄膜特性
四、表面分析儀器
五、其他表面分析儀器

第10章 表面蝕刻及微機電系統
一、圖樣化及蝕刻
二、微機電系統
三、矽製程

第11章 奈米技術
一、奈米材料
二、奈米科技發展史
三、奈米合成和表面技術
四、奈米材料之特徵
五、奈米材料之應用
六、結 語

第12章 表面的物理化學性質
一、前 言
二、表面張力
三、電 濕
四、L-B薄膜