慣性傳感器技術

第1章 緒論
1.1慣性感測器的基本概念及物理基礎
1.1.1加速度計的物理基礎
1.1.2陀螺儀的物理基礎
1.2慣性感測器的典型應用
1.2.1慣性導航
1.2.2制導控制回路
1.2.3慣性姿態測量
1.2.4慣性姿態穩定
1.2.5高超載檢測
1.3慣性感測器的發展概況
1.3.1加速度計
1.3.2機械轉子陀螺
1.3.3振動陀螺
1.3.4光學陀螺
1.3.5新型陀螺
思考題
參考文獻

第2章 加速度計
2.1加速度計的基本原理
2.1.1比力與加速度
2.1.2擺式加速度計基本原理
2.1.3振動式加速度計基本原理
2.2石英撓性加速度計
2.2.1石英撓性加速度計的組成結構與部件功能
2.2.2信號檢測與處理過程
2.2.3石英撓性加速度計的誤差模型
思考題
參考文獻

第3章 MEMS加速度計
3.1MEMS加速度計基礎理論
3.1.1機械靈敏度
3.1.2頻寬
3.1.3機械熱雜訊
3.2MEMS加速度計信號轉換方式
3.2.1電容檢測式MEMS加速度計
3.2.2壓電檢測式MEMS加速度計
3.2.3壓阻檢測式MEMS加速度計
3.2.4隧道電流檢測式MEMS加速度計
3.2.5諧振式MEMS加速度計
3.3電容式MEMS加速度計信號檢測技術
3.3.1微弱電容檢測原理
3.3.2閉環檢測技術
3.4蝶翼式MEMS加速度計
3.4.1蝶翼式MEMS加速度計結構設計及工作原理
3.4.2蝶翼式MEMS加速度計加工工藝
3.4.3蝶翼式MEMS加速度計性能測試
思考題
參考文獻

第4章 機械轉子陀螺
第5章 振動式MEMS陀螺
第6章 光學陀螺
第7章 新型慣性感測器技術
第8章 慣性感測器的精度測試與環境試驗