微機電系統技術與應用（精裝─上下冊合售）

第一章概論1.1緣起1.2尺寸效應1.3發展趨勢‧參考文獻第二章基礎微加工製程模組2.1熱製程及離子佈植2.2圖案轉移2.3薄膜‧參考文獻第三章矽微加工製程技術3.1微機電技術發展歷程與簡介3.2體型微加工技術3.3面型微加工技術3.4與積體電路製程相容技術‧參考文獻第四章非矽微加工製程技術4.1前言4.2X光深刻技術4.3類LIGA製程光刻技術4.4精密電鑄技術4.5微成形技術4.6微放電加工技術4.7非矽質的微細加工低溫製程4.8高分子加工技術‧參考文獻第五章微機電材料5.1前言5.2基板／塊材材料5.3薄／厚膜材料5.4微感測材料5.5微致動材料5.6封裝材料5.7材料分析‧參考文獻第六章微結構6.1微鏡片6.2微噴嘴6.3微探針6.4微流道6.5結語‧參考文獻第七章微感測器7.1力感測器7.2熱感測器7.3流量感測器7.4聲音傳感器7.5其他感測器‧參考文獻第八章微致動器8.1前言8.2靜電式微致動器8.3電熱式微致動器8.4電磁式微致動器8.5壓電式微致動器8.6氣／液動式微致動器‧參考文獻第九章系統整合與介面9.1前言9.2微系統訊號與雜訊之分析9.3系統介面之設計9.4控制設計與演算法則9.5系統整合之實例‧參考文獻第十章封裝技術10.1前言10.2封裝設計10.3低階封裝製程10.4高階封裝製程10.5封裝機台10.6封裝案例‧參考文獻第十一章檢測技術11.1基礎檢測技術11.2薄膜殘餘應力量測技術11.3掃描式顯微鏡檢測技術11.4表面聲波顯微檢測技術11.5振動檢測技術─雷射干涉儀11.6光柵式奈米檢測技術11.7脈衝式電子斑點及全像干涉儀檢測技術11.8生物微系統檢測技術11.9微流場檢測技術11.10可靠性檢測技術‧參考文獻第十二章模擬與分析技術12.1前言12.2微機電分析模擬基本架構與內容12.3元件特性之物理領域模擬12.4系統階層模擬分析技術12.5製程模擬12.6現有之發展介紹‧參考文獻第十三章微機電系統應用13.1微光機電系統13.2生物微機電系統13.3射頻微機電系統13.4其他工程應用‧參考文獻第十四章奈米機電系統技術14.1前言14.2奈米機電系統的元件14.3奈米機電系統的應用14.4展望未來‧參考文獻

第一章概論1.1緣起1.2尺寸效應1.3發展趨勢‧參考文獻第二章基礎微加工製程模組2.1熱製程及離子佈植2.2圖案轉移2.3薄膜‧參考文獻第三章矽微加工製程技術3.1微機電技術發展歷程與簡介3.2體型微加工技術3.3面型微加工技術3.4與積體電路製程相容技術‧參考文獻第四章非矽微加工製程技術4.1前言4.2X光深刻技術4.3類LIGA製程光刻技術4.4精密電鑄技術4.5微成形技術4.6微放電加工技術4.7非矽質的微細加工低溫製程4.8高分子加工技術‧參考文獻第五章微機電材料5.1前言5.2基板／塊材材料5.3薄／厚膜材料5.4微感測材料5.5微致動材料5.6封裝材料5.7材料分...