積體電路製程技術

半導體產業是蓬勃發展中的高科技產業。為因應積體電路元件的微小化及高速化趨勢，現有製程技術須要持續改進，而創新的技術不斷地被發展出來。雖然積體電路製程技術不斷推陳出新，然而其基本原理及步驟卻是相通的。因此本書著重於基本觀念的理解，而不是個別技術的細節。本書講述積體電路製造程序中所使用的各種技術，包括物理及化學氣相沉積、微影、氧化、蝕刻、摻雜等製程的基本原理。本書中包含大量的圖形及表格使讀者得以對積體電路製程獲得具體的瞭解，適合作為大學、技術學院相關課程的教材。