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圖書介紹 - 資料來源：TAAZE 讀冊生活 評分：
圖書名稱：積體電路製程技術
本書講述積體電路製造程序中所使用的各種技術，包括物理及化學氣相沉積、微影、養化、蝕刻、摻雜等製程的基本原理·本書中包含大量的圖形及表格使讀者得以對積體電路製程獲得具體的瞭解，適合作為大學、技術學院相關課程的教材。
作者簡介：
現職：大葉大學電機工程系暨研究所副教授／學歷：美國賓州州立大學電機工程博士
商品資料
- 作者： 李世鴻
- 出版社： 五南圖書出版股份有限公司 出版日期：2001-09-24 ISBN/ISSN：957111653X
- 裝訂方式：平裝 頁數：376頁
- 類別： 中文書> 科學> 應用科學
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