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微電子工程的圖書 |
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微電子工程 作者：黃惠良 出版社：五南圖書出版股份有限公司 出版日期：2000-01-01 語言：繁體書 |
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圖書介紹 - 資料來源：TAAZE 讀冊生活 評分：
圖書名稱：微電子工程
本書作者從事半導體科技研究，對矽元件的製作有充分的認識，並對相關的研究有深刻的體會。因此，本書的特色由淺入深，內容包含完整，並予以適當整合。本書探討矽材料的製備及對氧化、擴散、離子佈植、磊晶成長、光罩技術及金屬膜鍍製等晶圓製作的重要步驟等。此書對初學者可謂是易學易懂，對有相當工作經驗者，亦為相當良好的參考書。
目錄
1積體電路製作技術簡介 1積體電路製作技術簡介 2晶體製備及量測 2晶體製備及量測 3磊晶 3磊晶 4氧化暨擴散 4氧化暨擴散 5離子佈植 5離子佈植 6其他絕緣層及複晶矽薄膜的鍍製 6其他絕緣層及複晶矽薄膜的鍍製 7光罩製版技術 7光罩製版技術 8蝕刻技術 8蝕刻技術 9金屬化 9金屬化 10積體電路製作 10積體電路製作 參考資料 參考資料
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商品資料
- 作者： 黃惠良
- 出版社： 五南圖書出版股份有限公司 出版日期：2000-01-01 ISBN/ISSN：9571118923
- 語言：繁體中文 裝訂方式：平裝 頁數：288頁
- 類別： 中文書> 科學> 應用科學
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