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微電子工程

的圖書
微電子工程 微電子工程

作者:黃惠良 
出版社:五南圖書出版股份有限公司
出版日期:2000-01-01
語言:繁體書   
圖書介紹 - 資料來源:TAAZE 讀冊生活   評分:
圖書名稱:微電子工程

本書作者從事半導體科技研究,對矽元件的製作有充分的認識,並對相關的研究有深刻的體會。因此,本書的特色由淺入深,內容包含完整,並予以適當整合。本書探討矽材料的製備及對氧化、擴散、離子佈植、磊晶成長、光罩技術及金屬膜鍍製等晶圓製作的重要步驟等。此書對初學者可謂是易學易懂,對有相當工作經驗者,亦為相當良好的參考書。


目錄
1積體電路製作技術簡介 1積體電路製作技術簡介 2晶體製備及量測 2晶體製備及量測 3磊晶 3磊晶 4氧化暨擴散 4氧化暨擴散 5離子佈植 5離子佈植 6其他絕緣層及複晶矽薄膜的鍍製 6其他絕緣層及複晶矽薄膜的鍍製 7光罩製版技術 7光罩製版技術 8蝕刻技術 8蝕刻技術 9金屬化 9金屬化 10積體電路製作 10積體電路製作 參考資料 參考資料
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商品資料
  • 作者: 黃惠良
  • 出版社: 五南圖書出版股份有限公司 出版日期:2000-01-01 ISBN/ISSN:9571118923
  • 語言:繁體中文 裝訂方式:平裝 頁數:288頁
  • 類別: 中文書> 科學> 應用科學
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