微機電系統

　　微機電系統是在二十世紀末才剛萌芽的新興科技技術領域，近十年來由於相關產品如氣囊加速規、噴墨印表頭、光開關、生物晶片的問世，而這些新的科技產品也提升人類的生活品質，因此也就不再有人懷疑微機電系統的相關產品是否能實際的應用於日常生活之中。而這個新興科技領域也逐漸受到各個先進國家的重視，紛紛成立研究中心或在大學裡成立相關系所培養人才，有鑑於有意往微機電領域發展的學生或工程師日漸增多，但介紹微機電製程技術相關的書籍卻付之闕如，因此作者希望能拋磚引玉，就過去幾年來的研究成果與所使用的微機電技術匯集撰寫成書，盼能讓國內其他先進也一齊跟進，提供最新的微機電技供國內研究人員與學生們參考。

• 簡介
• 積體電路製程(Lithography, Etching)
• LIGA與LIGA-like製程
• 微系統力學
• 微機電系統封裝技術
• 微機電系統之實例─微流量計之設計與製程規劃