真空技術精華

　　本書分為七章，內容由淺入深包括重要的氣體理論、應用真空的基本原理、真空中氣體的性質及真空中的氣流形態、真空範圍的區分、真空技術應用的範圍等。抽真空的方法有各類幫浦的介紹包括原理、構造、操作及應用等。真空量測包含介紹各類真空計及其校正、真空的基本量，如抽氣速率、氣流通量及氣導的測定、真空系統計算包括管路氣導、薄壁上孔道的氣導、有效抽氣速率、抽氣速率損失、氣體分子的平均自由動徑、氣體分子撞擊率及單分子層附著時間等的計算。真空系統的測漏包括測漏儀、找漏孔及堵漏、真空系統的污染包括防止及消除污染的方法、系統烘烤對真空度的影響。此外並介紹常用的真空製程、高科技真空製程及鍍膜技術。

　　本書可使入門者循序漸進的學習，亦可作為熟悉真空科技者有系統復習的參考資料。本書可供真空技術課程的用書，及從事與真空相關的科技人員的參考書。 

作者簡介

蘇青森

現職：國立清華大學兼任教授
學歷：美國倫色列理工學院博士
經歷：國立清華大學原子科學院教授、院長
　　　行政院原子能委員會副主任委員 

Chapter １　真空的基本觀念
　　1.1　從歷史發展認識真空
　　1.2　絕對真空與真空的定義
　　1.3　真空壓力與真空度
　　1.4　自然界的真空
　　1.5　真空技術的基本量
　　1.6　真空系統的特徵
　　1.7　真空應用

Chapter ２　真空中的氣體與氣流
　　2.1　氣體與真空壓力
　　2.2　部分壓力與總壓力
　　2.3　真空中的氣流形態
　　2.4　真空區分
　　2.5　真空有關的氣體理?

Chapter ３　產生真空的方法
　　3.1　真空幫浦
　　3.2　粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦
　　3.3　高真空到超高真空抽氣用的幫浦
　　3.4　抽真空系統的幫浦組合

Chapter ４　真空量測
　　4.1　真空量測的基本量
　　4.2　真空中氣體的壓力
　　4.3　粗略到中度真空範圍用的真空計
　　4.4　高真空及超高真空範圍用的真空計
　　4.5　部分壓力分析儀
　　4.6　真空計的校正
　　4.7　抽氣速率的測定
　　4.8　氣流通量的測定
　　4.9　氣導的測定

Chapter ５　真空系統與計算
　　5.1　真空系統
　　5.2　真空系統管路氣導的計算
　　5.3　管路氣導的計算公式
　　5.4　薄壁上孔道的氣導
　　5.5　管路中空氣以外其他氣體的氣體
　　5.6　真空系統有效抽氣速率
　　5.7　抽氣速率損失
　　5.8　氣體分子的平均自由動徑
　　5.9　氣體分子間平均碰衝率
　　5.10　單分子層附著時間

Chapter ６　測漏技術與清潔方法
　　6.1　真空系統的漏氣
　　6.2　找漏與堵漏
　　6.3　真空系統的污染
　　6.4　清潔的方法
　　6.5　真空系統烘烤

Chapter ７　真空製程
　　7.1　常用的真空製程
　　7.2　高科技真空製程
　　7.3　鍍膜技術簡介