真空技術精華

Chapter １　真空的基本觀念
　　1.1　從歷史發展認識真空
　　1.2　絕對真空與真空的定義
　　1.3　真空壓力與真空度
　　1.4　自然界的真空
　　1.5　真空技術的基本量
　　1.6　真空系統的特徵
　　1.7　真空應用
Chapter ２　真空中的氣體與氣流
　　2.1　氣體與真空壓力
　　2.2　部分壓力與總壓力
　　2.3　真空中的氣流形態
　　2.4　真空區分
　　2.5　真空有關的氣體理讑
Chapter ３　產生真空的方法
　　3.1　真空幫浦
　　3.2　粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦
　　3.3　高真空到超高真空抽氣用的幫浦
　　3.4　抽真空系統的幫浦組合
Chapter ４　真空量測
　　4.1　真空量測的基本量
　　4.2　真空中氣體的壓力
　　4.3　粗略到中度真空範圍用的真空計
　　4.4　高真空及超高真空範圍用的真空計
　　4.5　部分壓力分析儀
　　4.6　真空計的校正
　　4.7　抽氣速率的測定
　　4.8　氣流通量的測定
　　4.9　氣導的測定
Chapter ５　真空系統與計算
　　5.1　真空系統
　　5.2　真空系統管路氣導的計算
　　5.3　管路氣導的計算公式
　　5.4　薄壁上孔道的氣導
　　5.5　管路中空氣以外其他氣體的氣體
　　5.6　真空系統有效抽氣速率
　　5.7　抽氣速率損失
　　5.8　氣體分子的平均自由動徑
　　5.9　氣體分子間平均碰衝率
　　5.10　單分子層附著時間
Chapter ６　測漏技術與清潔方法
　　6.1　真空系統的漏氣
　　6.2　找漏與堵漏
　　6.3　真空系統的污染
　　6.4　清潔的方法
　　6.5　真空系統烘烤
Chapter ７　真空製程
　　7.1　常用的真空製程
　　7.2　高科技真空製程
　　7.3　鍍膜技術簡介

Chapter １　真空的基本觀念
　　1.1　從歷史發展認識真空
　　1.2　絕對真空與真空的定義
　　1.3　真空壓力與真空度
　　1.4　自然界的真空
　　1.5　真空技術的基本量
　　1.6　真空系統的特徵
　　1.7　真空應用
Chapter ２　真空中的氣體與氣流
　　2.1　氣體與真空壓力
　　2.2　部分壓力與總壓力
　　2.3　真空中的氣流形態
　　2.4　真空區分
　　2.5　真空有關的氣體理讑
Chapter ３　產生真空的方法
　　3.1　真空幫浦
　　3.2　粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦
　　3.3　高真空到超高真空抽氣用的幫浦
　　3.4　抽真空系統的幫浦...