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半導體製程設備技術

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半導體製程設備技術[2版/2017年12月/5DE0] 半導體製程設備技術[2版/2017年12月/5DE0]

出版日期:2017-12-25
圖書介紹 - 資料來源:TAAZE 讀冊生活   評分:
圖書名稱:半導體製程設備技術

半導體(Semiconductor)是介於導體(Conductor)與絕緣體(Insulator)之間的材料。我們可以輕易的藉由摻質(Dopant)的摻雜(Doping)去提高導電度(Conductivity)。其中二六族及三五族是為化合物半導體(Compound Semiconductor)材料,大部分是應用於光電領域,如發光二極體(Light Emitting Diode, LED)、太陽能電池(Solar cell)等。而目前的積體電路(Integrated Circuit, IC)領域,主要還是以第四族的矽(Si)為主的元素半導體,也就是目前的矽晶圓(Silicon Wafer)基底材料(Substrate) 。

在未來的日子,我們可預見晶圓廠裡將有可能全面改為自動化的運作,到那時將不再需要大量的操作人員。而主要的人力將會是工程師(含)以上的職務,所以希望能以此書與各位以及想轉職的朋友們提供一個分享,讓大家都能對於常見的機台設備及其製程技術,有一個全觀的認識,以提升職場的競爭力。

‧深入淺出的專業知識
‧製程程序步驟詳細介紹及圖說
‧培養扎實基礎與實際應用能力

作者簡介:

楊子明

交通大學半導體材料與製程設備學程工學碩士

鍾昌貴

台北科技大學機電整合所碩士

沈志彥

中正大學化工所工學碩士

李美儀

交通大學材料所工學博士

吳鴻佑

交通大學半導體材料與製程設備學程工學碩士

詹家瑋

交通大學半導體材料與製程設備學程工學碩士

總校閱簡介

吳耀銓

美國史丹福大學材料科學工程與電機博士

交通大學材料科學與工程研究所教授

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作者序
隨著產業的升級,半導體科技迅速的發展,使得積體電路(IC)日益蓬勃成熟。如同摩爾定律(Moore’s Law)所預測的,由於元件的尺寸不斷地微縮化 (Scaling)至奈米(nm)尺寸,導致積體電路的製造技術也變得更為複雜,當然製程設備也不斷的遭遇更大的挑戰。

回想起本人於學生時代第一次接觸半導體時,心裡便覺得「這根本就是一門藝術學」,因為在晶圓(Wafer)上的元件(Device)製作,根本不是肉眼所能看見的,從此便開啟了本人對於半導體的興趣及鑽研。而在任職於國家級半導體實驗室的那段期間,有多次機會被指派擔任來賓參訪的解說,在過程中我最喜...
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目錄

致謝
第○章 設備維修需具備的知識技能以及半導體導論篇
0.1 設備維修該有的認知及態度
0.2 設備安全標示的認識
0.2.1 設備安全標示的認識
0.2.2 個人防護裝備的認識
0.3 設備機電系統的定義及分類
  類比控制系統
  數位控制系統
0.4 設備控制系統
0.5 常見電路圖圖示認識
0.6 半導體導論
參考文獻

第一章 擴散設備(Diffusion)篇
1.1 爐管(Furnace)
1.1.1 爐管設備系統架構
1.1.2 爐管製程介紹
1.1.3 製程程序步驟(Recipe)介紹
1.1.4 經驗分享
1.2 離子植入(Ion Implant)
1.2.1 離子植入製程基礎原...
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商品資料
  • 作者: 楊子明、鍾昌貴、沈志彥、李美儀、吳鴻佑、詹家瑋 編著
  • 出版社: 五南圖書出版股份有限公司 出版日期:2017-12-25 ISBN/ISSN:9789571195131
  • 語言:繁體中文 裝訂方式:平裝 頁數:424頁 開數:16K
  • 類別: 中文書> 教育> 高等教育
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