VLSI設計與製造入門

第1章　何謂VLSI，IC？　1-11-1積體電路的種類、功能及優點1-31-1-1積體電路IC的種類與功能1-31-1-2積體電路IC的優點1-51-2積體電路的開發流程1-141-2-1積體電路設計的開發1-141-2-2半導體製程1-231-3積體電路的種類與構造1-24第2章　VLSI的基本元件與特性2-12-1二極體2-12-1-1pn接面二極體2-22-1-2二極體在偏壓下的電壓/電流特性2-42-1-3少量載子的累積效應2-62-1-4蕭特基二極體(Schottkydiode)2-72-2雙極性電晶體2-82-2-1雙極性電晶體的基本特性2-102-2-2雙極性電晶體的工作原理與等效電路2-142-3MOS電晶體2-192-3-1MOS電晶體的基本構造，符號及基本特性2-202-3-2MOS電晶體的工作特性2-242-3-3MOS電晶體的工作原理與通道的關係2-262-3-4MOS電晶體的等效電路2-282-3-5MOS電晶體的基本特性與微細化2-312-4電容2-352-5電阻2-37第3章　VLSI積體電路與基本特性3-13-1數位邏輯電路的基本特性3-13-1-1積體電路的直流特性(輸出/輸入電壓的傳遞特性)3-23-1-2扇入，輸入端數(faninm)；扇出，輸出端數(fanoutn)3-43-1-3信號傳遞的時間延遲特性3-53-1-4消費電力的特性3-73-2雙極性電晶體IC的基本邏輯電路3-83-2-1飽和型邏輯電路3-103-2-2非飽和型邏輯電路3-173-3MOSIC的基本邏輯電路3-203-3-1阻抗負載型MOS電晶體之反相器電路3-203-3-2E/D反相器邏輯電路3-223-3-3clocknMOS邏輯電路3-283-4CMOS電晶體的基本邏輯電路3-303-5MOSIC的邏輯電路3-383-5-1組合邏輯電路3-393-5-2時序邏輯電路3-433-5-3其他的邏輯電路3-473-6Bi-CMOSIC的基本邏輯電路3-52第4章　VLSI的記憶體與特性4-14-1VLSI記憶體的基本結構4-24-2MOS動態隨機存取記憶體(DRAM)4-34-3MOS靜態隨機存取記憶體(SRAM)4-64-4唯讀專用記憶體(ROM)4-84-4-1罩幕式唯讀專用記憶體(maskROM)4-94-4-2P-ROM與EP-ROM4-134-4-3EP-ROM與flashEP-ROM4-16第5章　VLSI的設計5-15-1原始光罩的電路圖案設計(maskpatterndesign)5-15-2CMOS電晶體積體電路的圖案設計5-135-3VLSI電腦輔助設計的支援技術5-155-4VLSI的自動化程式設計(electricaldesignautomation)5-17第6章　VLSI的製造與半導體製程6-16-1VLSI的製造技術6-16-1-1微影光刻製程(photoengravingprocess，簡稱PEP)6-16-1-2雙極性電晶體IC的半導體製程6-46-1-3MOSIC的半導體製程6-66-2VLSI的基本製程(unitprocess)6-126-2-1單晶矽晶圓的製造6-136-2-2p型半導體層，n型半導體層的形成6-196-2-3絕緣薄膜的形成6-346-2-4多晶矽薄膜6-436-2-5金屬薄膜6-446-2-6蝕刻加工(etching)6-47第7章　微影光刻印刷技術與VLSI電路設計7-17-1微影光刻製程7-17-2積體電路圖案的轉印(patterntransfer)7-27-2-1直接曝光轉印7-47-2-2間接投影曝光轉印7-77-3電路的描繪與光罩的製作7-137-3-1光罩的電路圖案設計7-147-3-2光罩製作技術7-177-3-3光罩的材料與種類7-24

第1章　何謂VLSI，IC？　1-11-1積體電路的種類、功能及優點1-31-1-1積體電路IC的種類與功能1-31-1-2積體電路IC的優點1-51-2積體電路的開發流程1-141-2-1積體電路設計的開發1-141-2-2半導體製程1-231-3積體電路的種類與構造1-24第2章　VLSI的基本元件與特性2-12-1二極體2-12-1-1pn接面二極體2-22-1-2二極體在偏壓下的電壓/電流特性2-42-1-3少量載子的累積效應2-62-1-4蕭特基二極體(Schottkydiode)2-72-2雙極性電晶體2-82-2-1雙極性電晶體的基本特性2-102-2-2雙極性電晶體的工作原理與等效電路2-142-3MOS電晶體2-192-3-1MOS電晶體的基本構造...