微機電系統技術入門

第1章微‧奈米機械的發展歷史1.1　以半導體技術製作微細結構和感測器1.1.1　半導體技術和積體電路1.1.2　半導體微細加工和微加工1.1.3　矽晶片上的微齒輪1.2　微致動器的進步1.2.1　微靜電馬達1.2.2　旋轉運動的靜電馬達1.2.3　梳齒型靜電致動器1.3　立體微細加工的發展1.3.1　微鉸鏈和折立結構1.3.2　切削矽基板的立體結構1.3.3　取自立體鑄模的結構1.4　從驚異的時代到實用的時代1.4.1　微加工應用顯示器1.4.2　在汽車的應用1.4.3　在印表機的應用1.5　其它微細化的進展第2章　微‧奈米機械的特徵和優點2.1　伴隨微小化的尺寸效應2.2　半導體微加工2.3　小型化、積體化、並聯化的特徵2.4　小型化的優點2.5　並聯化的優點2.6　積體化的優點第3章微‧奈米機械的應用領域3.1　各種應用領域3.2　在感測器的應用3.3　在醫學的應用3.4　微‧奈米物體的觀測與操控3.5　其它的應用3.5.1　功率微機電系統3.5.2　分佈微致動器的流體控制3.5.3　無線通訊用微機電系統3.5.4　微冷式電子發射槍與其應用第4章　在光技術的應用4.1　在光領域的應用4.2　微機械對光技術的影響4.2.1　元件的積體化4.2.2　正確的對準4.2.3　波長和同尺度大小的結構和位移4.2.4　陣列化結構和重複結構4.2.5　特性和波長無關的元件4.2.6　自由空間傳遞的微光學系統4.2.7　高靈敏性和高速響應4.2.8　近場光學元件4.2.9　微米領域的局部反饋控制4.2.10　氣密封裝和真空封裝4.2.11　光鑷夾4.2.12　面對微小化的問題4.3　微機械應用的光元件4.4　光微機械的歷史4.5　光通訊網路和光微機械4.6　微機械應用的光開關4.6.1　各種微機械光開關4.6.2　三維微機械光開關4.6.3　二維微機械光開關4.6.4　三維型和二維型的比較4.6.5　平面光波導使用的光開關4.6.6　損耗的尺寸效應4.7　可變波長元件4.7.1　微機電系統F-P干涉計的應用4.7.2　微機電系統可變共振器雷射4.7.3　波長可變微機電系統光檢出器4.7.4　微機電系統光調變器4.7.5　微機電系統可變衰減器4.8　磁性元件裝置的讀取頭精密循軌用微致動器4.9　在可穿戴式電腦的應用第5章　在生‧化領域的應用5.1　微化學晶片5.2　微流體元件5.2.1　微流道和混合器、過濾器5.2.2　微　閥5.2.3　微泵浦5.2.4　流體感測器5.2.5　流量控制器5.3　微化學晶片的應用5.3.1　晶片上的微毛細管電泳分析5.3.2　DNA晶片5.3.3　在化學反應與合成的應用5.4　生物晶片的細胞操控和細胞培養5.4.1　細胞捕捉用的微系統5.4.2　微細中空針陣列的基因注入系統5.4.3　在微圖案上的神經細胞培養5.5　DNA單一分子操控5.6　微流體系統的技術問題第6章　微‧奈米加工(製作技術6.1　基本製程6.2　蝕刻的選擇性6.3　等向性和異向性蝕刻6.3.1　異向性乾式蝕刻6.3.2　異向性濕式蝕刻6.4　面型微加工6.4.1　使用一層罩幕的面型微加工6.4.2　使用多層罩幕的面型微加工6.4.3　使用多結構層的面型微加工6.5　電鑄和回填立體加工6.6　基板接合技術和元件複製技術6.7　積體化製程6.8　奈米微加工第7章　微致動器7.1　致動器的驅動原理和結構7.2　靜電致動器7.2.1　平行平板型致動器7.2.2　梳齒型致動器7.2.3　靜電旋轉馬達7.2.4　抓爬驅動致動器(SDA)7.2.5　靜電衝擊驅動致動器(EIM)7.2.6　靜電致動器的驅動特性分析7.3　磁性致動器7.4　熱致動器7.4.1　熱膨脹致動器7.4.2　熱雙層膜致動器7.4.3　形狀記憶合金致動器7.5　流體致動器7.6　壓電致動器7.7　高分子致動器7.8　分布型致動器索　引

第1章微‧奈米機械的發展歷史1.1　以半導體技術製作微細結構和感測器1.1.1　半導體技術和積體電路1.1.2　半導體微細加工和微加工1.1.3　矽晶片上的微齒輪1.2　微致動器的進步1.2.1　微靜電馬達1.2.2　旋轉運動的靜電馬達1.2.3　梳齒型靜電致動器1.3　立體微細加工的發展1.3.1　微鉸鏈和折立結構1.3.2　切削矽基板的立體結構1.3.3　取自立體鑄模的結構1.4　從驚異的時代到實用的時代1.4.1　微加工應用顯示器1.4.2　在汽車的應用1.4.3　在印表機的應用1.5　其它微細化的進展第2章　微‧奈米機械的特徵和優點2.1　伴隨微小化的尺寸效應2.2　半導...