DLC成膜技術

　　本書由日本學界與產業界共同合作編著而成並結合理論與實務。內容詳盡地介紹DLC膜基礎理論及在各領域上之應用，並對於金屬表面因鍍膜產生的特性逐一解釋，使讀者能瞭解DLC膜應用在金屬表面或其他滑動機件、刀具、模具是如何改善其機械特性。文中也引用了多個產業上應用的例子，完善地提供讀者DLC成膜技術在工業上應用的資訊。

第1篇　DLC成膜技術是什麼？

第1章　什麼是DLC膜1-11.1　DLC膜1-11.2　利用電漿(Plasma)能源的表面改質法及其市場動向1-3

第2章　DLC膜的特性2-12.1　DLC的特性2-12.2　期待的超低摩擦低磨耗DLC皮膜　　DLC皮膜　的摩擦係數可以降到哪裏？2-92.3　DLC成膜法2-10

第3章　DLC成膜技術的工業應用與開發課題3-13.1　工業應用3-13.2　含DLC膜的複合表面改質技術3-23.3　為何要複合表面改質？3-53.4　今後的開發課題3-8

第2篇　使用DLC的應用事例

第4章　利用UBM濺鍍法製DLC膜的特性及其應用4-14.1　前　言4-14.2　UBM濺鍍法的原理與特長4-24.2.1　濺鍍法的概要4-24.2.2　UBM濺鍍法是什麼？4-24.3　利用UBM濺鍍裝置形成皮膜4-54.4　以UBM濺鍍法製DLC膜的特性及應用4-64.4.1　DLC膜的種類及性質4-64.4.2　以UBM濺鍍法製DLC膜4-74.4.3　DLC膜的應用4-134.5　結　語4-15

第5章　硬質DLC，金屬DLC，奈米碳的特徵與應用5-15.1　前　言5-15.2　DLC膜的特性5-15.2.1　表面形態(平滑性)與表面粗糙度5-25.2.2　乾式潤滑特性5-35.3　DLC膜的成膜方法5-45.3.1　硬質DLC的製法與特徵5-55.3.2　硬質DLC膜的模具應用5-65.3.3　硬質DLC膜在模具的應用5-85.4　金屬DLC的製法及特徵5-95.4.1　鎂(Mg)合金板的深抽引加工5-115.5　奈米碳的特徵5-135.6　各種DLC膜在摺動零件的應用例5-165.7　結　語5-17

第6章　含金屬DLC(Me-DLC)的工業應用6-16.1　Me-DLC6-16.2　Me-DLC成膜方法6-16.3　皮膜構造6-26.4　皮膜的基本性質6-36.5　在滑動零件的適用性6-66.6　加工工程6-66.7　應用事例6-86.7.1　降低傳動損失6-86.7.2　高壓壓縮機6-86.7.3　纖維切斷刀、葉片類6-96.7.4　對鋁滑動零件6-96.8　今後的問題點6-9

第7章　利用UBMS法製DLC膜的特性與用途開展7-17.1　前　言7-17.2　DLC膜的基本特性7-27.3　複合製程7-77.4　機械零組件的應用7-97.5　切削刀具的應用7-117.6　在模具的應用7-137.7　DLC膜的再生系統7-157.8　整　理7-18

第8章　在精密機械零組件中DLC膜的應用事例8-18.1　Citizen的DLC概要8-18.1.1　乾式製程的歷史8-18.1.2　代工鍍膜服務概要8-28.1.3　宣傳活動8-28.1.4　DLC的代表性特徵8-38.1.5　鍍膜規格8-38.1.6　附著性的評估8-48.1.7　成膜設備8-58.2　應用例8-7

第9章　可撓性DLC膜在高分子材料的應用9-19.1　前　言9-19.2　DLC的特徵9-19.3　DLC膜的用途開發9-49.4　可撓性DLC在高分子材料的適應9-59.5　成膜設備及處理方法9-69.6　評估項目及方法9-69.7　實驗結果9-79.7.1　成膜速率9-79.7.2　摩擦係數9-79.7.3　磨耗特性9-99.7.4　電阻特性9-109.7.5　撥水性9-109.7.6　膜硬度9-109.7.7　膜的表面．截面形態9-109.7.8　氣體阻絕性9-119.7.9　製品例9-129.8　整　理9-13

第10章　厚膜DLC的鍍膜技術10-110.1　前　言10-110.2　設備的原理與構造10-210.2.1　PIG-PECVD設備的構造10-210.2.2　電漿的安定化10-310.2.3　基板的偏壓方法10-710.2.4　DLC(Si)的鍍膜變數10-810.3　DLC的厚膜鍍膜技術10-1010.3.1　成膜方法10-1010.3.2　附著性10-1310.3.3　添加矽的效應10-1510.4　乾潤滑特性10-1710.5　內面鍍膜10-1910.6　DLC的剝離再生技術10-2110.7　整　理10-23

第11章　利用電漿離子植入、成膜技術之DLC鍍膜11-111.1　前　言11-111.2　關於電漿離子植入技術11-211.3　RF．高電壓脈衝重疊式電漿離子植入．成膜法11-311.4　DLC膜的成膜秘訣與特性11-511.5　成長膜實例11-711.6　結　論11-9

第12章　電漿PVD、ArcIonPlating複合DLC成膜技術12-112.1　前　言12-112.2　複合表面處理的重要性12-212.2.1　基材的強化12-212.2.2　密合性改善12-212.2.3　皮膜特性的改善12-312.3　本研究所的PlasmaPVD．ArcIonPlating　複合薄膜設備概要12-312.4　利用此裝置製複合DLC膜例12-512.5　複合DLC成膜技術今後的發展12-7