光微機電系統

第一篇　光微機電系統

第1章　光學開關、鏡片陣列、減衰器1-11.1　GLV、MARS開關、DMD應用開關等利用on/off的MEMS開關1-41.2　RIE製成的開關1-51.3　光纖、波導驅動開關1-61.4　3D及矩陣鏡片的陣列開關1-81.5　透鏡驅動開關1-141.6　Si製載台開關1-151.7　Mach-Zender干涉應用開關(TO開關)1-161.8　移動閥開關1-161.9　一軸回轉鏡片1-181.10非放射電磁波結合開關1-191.11可變光減衰器1-201.12其他種類的MEMS開關1-221.13自己保持力與消費電力1-22

第2章　2顯示器與掃描器2-12.1　DMD(3)2-22.2　GLV應用顯示器(5)2-42.3　TMA(8)2-52.4　鏡片掃描器2-6

第3章　光譜儀、波長可變光學元件3-13.1　應用校準量具的微分光裝置3-33.2　應用傅利葉變換分光的微分光裝置3-53.3　應用繞射光柵的微分光裝置3-83.4　波長可變雷射、光電二極管3-10

第4章　致動器及可動構造體4-14.1　平行平板電極間之靜電力及梳型電極致動器4-24.2　抓爬式致動器4-34.3　垂直式梳型電極致動器4-54.4　EDLA致動器4-74.5　彈簧，樑的共振頻率，彈簧係數，共振型鏡片4-84.6　光學致動器4-234.7　液體移動4-294.8　其他致動器4-334.9　可動構造，自組式致動器4-36

第5章　偵測技術與感測器5-15.1　微小變位的量測5-25.2　都普勒，血流量測5-245.3　加速度感測器5-315.4　輻射熱計5-375.5　生體量測5-385.6　生物感測器5-455.7　光激發振動子5-465.8　光纖感測器5-475.9　微小信號的檢測5-485.10信號處理5-535.11光學膜厚，距離檢測5-565.12其他量測法5-58

第6章　顯微鏡6-16.1　光學顯微鏡6-26.2　掃描型探針顯微鏡6-7

第7章　記憶裝置7-17.1　光讀取頭的小型化7-27.2　光探針以外之大容量記錄7-97.3　機構的定位控制7-107.4　機構的微小化7-117.5　超透鏡7-167.6　光波導型全像7-18

第8章　　微光機電的設計與模擬8-18.1　十字接頭型開關8-28.2　光學解析的例子8-48.3　GLV的例子8-68.4　鏡片控制8-7參考文獻參-1

第2篇　微光機電系統

第1章　光的反射，折射1-11.1　光的數學處理和基本項目1-21.2　偏極光1-51.3　反射和折射1-101.4　散　射1-191.5　損　耗1-22

第2章　干　涉2-12.1　2光束干涉2-22.2　Fabry-Perot干涉計2-52.3　變化折射率的波長可變元件2-112.4　外部共振型半導體雷射2-122.5　在金屬膜的反射光和穿透光2-152.6　MachZender干涉計2-192.7　Michelson干涉計2-212.8　使用寬頻波長光源的干涉法2-23

第3章　繞　射3-13.1　繞射現象和繞射光柵的作用3-23.2　各種波導繞射光柵3-43.3　繞射的數學處理和繞射光控制，繞射效率3-11

第4章　自由空間光學4-14.1　Gaussian波束光學4-24.2　非繞射波束4-94.3　以MEMS控制波前4-10

第5章　光輻射壓5-15.1　光捕捉原理5-25.2　雷射操控5-125.3　雷射冷卻5-20

第6章　近場光學6-16.1　全反射和漸消波6-26.2　近場光學的應用6-66.3　表面電漿子6-12參考文獻參-1

第3篇　

第1章　光學元件1-11.1　光元件1-21.2　光纖，光波導1-101.3　微透鏡1-181.4　交互作用1-261.5　基礎基板1-341.6　Si結晶基板和錯位1-391.7　彎　曲1-401.8　結晶玻璃1-41

第2章　製　作2-12.1　全面性的製程2-22.2　微　影2-42.3　膜的沉積技術2-82.4　波導構造的製作2-112.5　蝕　刻2-152.6　三維加工2-362.7　其他的加工法2-40

第3章　表面物理3-13.1　表面電荷的影響3-23.2　沾　黏3-33.3　MEMS的吸附力3-53.4　vanderWaals力3-83.5　掀　離3-9

第4章　封　裝4-14.1　光連接器4-24.2　表面封裝4-64.3　接　合4-124.4　貫穿孔穴電極4-174.5　MEMS元件封裝4-19參考文獻參-1附　錄