矽元件與積體電路製程(修訂二版)

1.深入淺出說明半導體元件物理和積體電路結構、原理及製程。

2.從矽導體之物理概念開始，一直到半導體結構、能帶作完整的解說，使讀者學習到全盤知識。

3.圖片清晰，使讀者一目瞭然更容易理解。

4.適用於大學、科大電子、電機系「積體電路製程」或「半導體物理與元件」課程或相關業界人士及有興趣之讀者。

1.深入淺出說明半導體元件物理和積體電路結構、原理及製程。

2.從矽導體之物理概念開始，一直到半導體結構、能帶作完整的解說，使讀者學習到全盤知識。

3.圖片清晰，使讀者一目瞭然更容易理解。

4.適用於大學、科大電子、電機系「積體電路製程」或「半導體物理與元件」課程或相關業界人士及有興趣之讀者。

第0章　半導體與積體電路之發展史
0-1　半導體之緣起 0-2
0-2　電晶體 0-2
0-3　積體電路 0-4
0-4　半導體製程 0-4
第1章　半導體物理與材料(一)
1-1　原子模型與週期表 1-2
1-2　晶體結構 1-4
1-3　物質種類 1-7
1-4　本矽，質量作用定律 1-9
1-5　摻雜質，負型和正型 1-10
第2章　半導體物理與材料(二)
2-1　能帶 2-2
2-2　電阻係數與薄片電阻 2-5
2-3　載子傳輸 2-9
第3章　積體電路(I)：半導體元件
3-1　二極體 3-2
3-2　雙載子電晶體 3-5
3-3　金氧半場效電晶體 3-9
3-4　互補金氧半場效電晶體 3-12
3-5　電阻 3-13
3-6　電容 3-15
3-7　電感 3-16
第4章　積體電路(II)：製程、電路與佈局
4-1　雙載子製程技術 4-2
4-2　MOS製程技術 4-5
4-3　電路與積體電路 4-6
4-4　IC設計原則 4-9
4-5　佈局原則 4-11
第5章　矽晶圓之製作(一)
5-1　原料配製 5-2
5-2　矽晶棒生長 5-3
5-3　晶片方向、切割和拋光 5-6
第6章　矽晶圓之製作(二)
6-1　晶體方向 6-2
6-2　晶體生長時摻雜質之分佈 6-4
6-3　晶體缺陷 6-6
6-4　十二吋晶圓效益分析 6-8
第7章　矽磊晶的成長(一)
7-1　磊晶膜 7-2
7-2　磊晶原理 7-5
7-3　磊晶膜之生長程序 7-10
第8章　矽磊晶的成長(二)
8-1　磊晶系統 8-2
8-2　磊晶膜之評估 8-5
第9章　氧化製程(一)
9-1　二氧化矽與氧化 9-2
9-2　熱氧化爐 9-3
9-3　氧化程序 9-4
9-4　氧化膜之評估 9-7
9-5　氧化膜品質改進方法 9-9
第10章　氧化製程(二)
10-1　氧化膜厚度之決定 10-2
10-2　氧化反應 10-5
10-3　薄氧化層 10-6
10-4　熱氧化時摻雜原子之重行分佈 10-7
第11章　摻雜質之擴散植入(一)
11-1　擴散概念 11-2
11-2　擴散過程 11-3
11-3　擴散之分佈曲線 11-12
第12章　摻雜質之擴散植入(二)
12-1　離子植入 12-2
12-2　火退火 12-6
12-3　離子佈植在CMOS積體電路製程上的應用 12-8
12-4　離子佈植製程實務 12-13
第13章　微影蝕刻術(一)
13-1　微影蝕刻技術 13-2
13-2　光罩之製作 13-2
13-3　光微影術 13-5
13-4　微影術之光源 13-10
第14章　微影蝕刻術(二)
14-1　濕、乾蝕刻 14-2
14-2　濕蝕刻 14-2
14-3　乾蝕刻 14-3
14-4　乾蝕刻反應器 14-7
第15章　化學氣相沈積
15-1　化學氣相沈積概念 15-2
15-2　化學氣相沈積流程 15-5
15-3　低壓化學氣相沈積 15-10
15-4　電漿化學氣相沈積 15-10
15-5　光照射化學氣相沈積 15-11
15-6　液相沈積 15-12
第16章　金屬接觸與蒸著
16-1　金屬化之要求 16-2
16-2　真空蒸著 16-3
16-3　蒸著技術 16-8
16-4　真空蒸著程序 16-12
16-5　合金／火退火 16-14
16-6　銅製程技術 16-15
第17章　製程潔淨控制與安全(一)
17-1　潔淨程序與藥品 17-2
17-2　水 17-3
17-3　空氣／無塵室 17-5
17-4　人員 17-7
17-5　化學藥品 17-8
17-6　氣體 17-11
第18章　製程潔淨控制與安全(二)
18-1　高壓氣瓶 18-2
18-2　設備上應注意事項 18-5
18-3　廢氣之排放 18-6
18-4　緊急時應注意事項 18-9
第19章　半導體元件之縮小
19-1　金氧半電晶體之縮小化 19-2
19-2　短通道效應 19-4
第20章　積體電路封裝
20-1　積體電路封裝 20-2
20-2　封裝分類 20-3
20-3　封裝流程 20-4

第0章　半導體與積體電路之發展史
0-1　半導體之緣起 0-2
0-2　電晶體 0-2
0-3　積體電路 0-4
0-4　半導體製程 0-4
第1章　半導體物理與材料(一)
1-1　原子模型與週期表 1-2
1-2　晶體結構 1-4
1-3　物質種類 1-7
1-4　本矽，質量作用定律 1-9
1-5　摻雜質，負型和正型 1-10
第2章　半導體物理與材料(二)
2-1　能帶 2-2
2-2　電阻係數與薄片電阻 2-5
2-3　載子傳輸 2-9
第3章　積體電路(I)：半導體元件
3-1　二極體 3-2
3-2　雙載子電晶體 3-5
3-3　金氧半場效電晶體 3-9
3-4　互補金氧半場效電晶體 3-12
3-5　電阻 3-13
3-6　電容 3-15
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