薄膜工程學

第1章　總　論1-11.1　薄膜之功能與應用1-11.1.1　前　言1-11.1.2　薄膜特徵1-21.1.3　薄膜特性的起源1-31.1.4　薄膜功能的應用1-51.2　薄膜形成技術1-71.2.1　前　言1-71.2.2　PVD法與CVD法1-71.2.3　薄膜成長條件與結構、物性1-101.2.4　PVD法1-131.2.5　CVD法1-181.2.6　利用溶液之薄膜形成法1-301.2.7　結言1-311.3　膜成長過程與磊晶術(epitaxy)1-331.3.1　前　言1-331.3.2　薄膜成長之基本過程1-331.3.3　薄膜之成長樣式1-341.3.4　各種物質之成長樣式1-391.3.5　表面變性成長[界面活性劑(surfactant)成長]1-391.3.6　磊晶術(epitaxy)1-401.3.7　結　言1-421.4　薄膜的歷史1-43第2章　薄膜製作法2-12.1　真空蒸鍍2-12.1.1　真空蒸鍍法2-12.1.2　分子束磊晶法2-172.1.3　離子噴鍍(ionplating)2-252.2　濺鍍(sputtering)法2-342.2.1　濺鍍原理2-342.2.2　濺鍍之特徵2-372.2.3　各種濺鍍法之特徵2-412.2.4　反應性濺鍍2-442.3　化學氣相沉積法2-512.3.1　前　言2-512.3.2　CVD基本原理2-512.3.3　熱CVD2-602.3.4　電漿CVD2-662.3.5　光CVD2-712.3.6　結　言2-74第3章　薄膜的功能3-13.1　半導體薄膜3-13.1.1　Si系3-13.1.2　化合物半導體薄膜3-113.2　光學薄膜3-363.2.1　基本公式3-363.2.2　薄膜光學常數之求法3-393.2.3　反射防止膜3-423.2.4　狹帶域過頻器(narrow-bandpassfilter)3-463.2.5　透明導電膜3-483.2.6　三稜鏡耦合器(prismcoupler)3-533.2.7　現實之薄膜3-543.3　有機薄膜3-613.3.1　前　言3-613.3.2　薄膜製作技術3-643.3.3　真空蒸鍍之各種參數3-673.3.4　有機分子之方位(配向)成長法：磊晶成長與摩擦複製法3-713.3.5　單一軸向排列高分子之電子特性異方性3-773.3.6　由結構控制提高光激發之發光強度3-783.3.7　結　言3-803.4　介電體薄膜3-823.4.1　介電常數3-823.4.2　交流電場之介電常數3-853.4.3　界面分極3-873.4.4　強介電體3-893.4.5　介電體薄膜之電氣傳導3-923.4.6　半導體元件之應用3-973.4.7　絕緣破壞與加速試驗3-1003.5　磁性薄膜3-1023.5.1　前　言3-1023.5.2　磁區結構與技術磁化過程3-1033.5.3　磁性異方性及磁歪3-1053.5.4　薄膜之微細組織控制與新磁性功能3-1073.5.5　Fe基微結晶膜之軟磁性(寫入磁頭用薄膜)3-1083.5.6磁碟用薄膜介質(面內磁性記錄方式)3-1113.5.7　再生磁頭用薄膜[自旋閥(spinvalve)]3-1143.5.8　強磁性穿隧接合3-117第4章　薄膜的性質與應用4-14.1　膜厚測試法4-14.1.1　膜厚的定義4-14.1.2　探針束(probe)4-34.1.3光探針4-94.1.4　掃描質量變化:石英晶體振盪器法4-134.1.5　其他膜厚測試方法4-154.2　薄膜之機械的、力學的性質4-164.2.1薄膜的應變與應力4-164.2.2薄膜機械性質的應用4-274.2.3薄膜之附著性4-324.3　薄膜的化學性質4-394.3.1前言4-394.3.2撥水性與親水性4-404.3.3蝕刻性4-464.3.4結言4-614.4　電子元件之應用4-624.4.1前言4-624.4.2　薄膜應用之相關研究開發4-634.4.3薄膜之形態控制4-654.4.4薄膜界面之功能4-674.4.5GMR感測器(sensor)薄膜4-684.4.6　積層歐姆(ohmic)電極薄膜與接觸電阻4-734.4.7　Ai-Si-Cu/Ti/TiN/Ti/Si基板積層配線膜與電子遷移4-75索　引索-1

第1章　總　論1-11.1　薄膜之功能與應用1-11.1.1　前　言1-11.1.2　薄膜特徵1-21.1.3　薄膜特性的起源1-31.1.4　薄膜功能的應用1-51.2　薄膜形成技術1-71.2.1　前　言1-71.2.2　PVD法與CVD法1-71.2.3　薄膜成長條件與結構、物性1-101.2.4　PVD法1-131.2.5　CVD法1-181.2.6　利用溶液之薄膜形成法1-301.2.7　結言1-311.3　膜成長過程與磊晶術(epitaxy)1-331.3.1　前　言1-331.3.2　薄膜成長之基本過程1-331.3.3　薄膜之成長樣式1-341.3.4　各種物質之成長樣式1-391.3.5　表面變性成長[界面活性劑(surfactant)成長]1-391.3.6　磊晶術(epitax...