LTPS低溫複晶矽顯示器技術（第二版）

第1章　諸論-低溫複晶矽的世代
1.1　前　言1-1
1.2　平面顯示器之分類1-1
1.3　低溫複晶矽開發歷史1-6
1.4　低溫複晶矽之優勢1-9
第2章　低溫複晶矽特性與結構
2.1　前　言2-1
2.2　LTPS薄膜電晶體之特性2-1
2.3　低溫複晶矽畫素之結構2-10
2.4　廣視角畫素之結構2-25
第3章　低溫複晶矽之可靠度
3.1　前　言3-1
3.2　LTPS元件可靠度3-1
3.3　LTPS陣列可靠度3-20
3.4　陣列測試3-28
第4章　LTPS氧化層技術
4.1　前　言4-1
4.2　玻璃基板4-1
4.3　緩衝層4-12
4.4　閘極界電層4-15
4.5　層間界電層4-26
第5章　LTPS複晶矽成膜技術
5.1　前　言5-1
5.2　直接沈積型複晶矽5-2
5.3　再結晶型複晶矽5-6
5.4　雷射結晶系統5-13
5.5　複晶矽成膜機制5-16
5.6　結晶品質提升5-20
5.7　下一代複晶矽技術5-28
第6章　LTPS離子植入技術
6.1　前　言6-1
6.2　顯示器用植入系統6-1
6.3　汲極與源極端摻雜6-7
6.4　輕摻雜汲極端6-16
6.5　通道摻雜6-22
6.6　離子活化製程6-24
第7章　低溫複晶矽面板開發現況
7.1　前　言7-1
7.2　日本低溫複晶矽之開發7-1
7.3　韓國低溫複晶矽之開發7-34
7.4　台灣低溫複晶矽之開發7-41
第8章　低耗電顯示技術
8.1　前　言8-1
8.2　功率消耗8-1
8.3　薄膜二極體顯示器8-2
8.4　反射式液晶顯示器8-11
8.5　半透式液晶顯示器8-16
8.6　省電設計8-24
第9章　大面積低溫複晶矽之挑戰
9.1　前　言9-1
9.2　大面積玻璃基板9-1
9.3　前段陣列製程9-7
9.4　後段液晶製程9-19
9.5　背光模組9-30
9.6　高畫質驅動系統9-39
9.7　大面積主動式平面影像感測器9-44
第10章　主動式有機電激發光顯示技術
10.1　前　言10-1
10.2　AMOEL的歷史10-1
10.3　AMOEL驅動方式10-3
10.4　AMOEL彩色化與製造流程10-9
10.5　陰陽電極特性10-17
10.6　OEL面板可靠性10-22
10.7　有機發光二極體驅動設計10-25
第11章　可撓曲低溫複晶矽顯示技術
11.1　前　言11-1
11.2　玻璃基板之限制11-1
11.3　可撓曲主動元件11-9
11.4　可撓曲之低溫複晶矽11-15
11.5　塑膠基板轉貼技術11-30
第12章　低溫複晶矽的未來
12.1　低溫複晶矽技術藍圖12-1
12.2　低溫複晶矽之挑戰12-4
12.3　結　語12-6
附 錄

第1章　諸論-低溫複晶矽的世代
1.1　前　言1-1
1.2　平面顯示器之分類1-1
1.3　低溫複晶矽開發歷史1-6
1.4　低溫複晶矽之優勢1-9
第2章　低溫複晶矽特性與結構
2.1　前　言2-1
2.2　LTPS薄膜電晶體之特性2-1
2.3　低溫複晶矽畫素之結構2-10
2.4　廣視角畫素之結構2-25
第3章　低溫複晶矽之可靠度
3.1　前　言3-1
3.2　LTPS元件可靠度3-1
3.3　LTPS陣列可靠度3-20
3.4　陣列測試3-28
第4章　LTPS氧化層技術
4.1　前　言4-1
4.2　玻璃基板4-1
4.3　緩衝層4-12
4.4　閘極界電層4-15
4.5　層間界電層4-26
第5章　LTPS複晶矽成膜技術
5.1　...