表面與薄膜處理技術(第三版)

　　固體材料的表面問題既已發展成一非常多樣化的科技，很多出版的參考書籍以專題深入探討或以工具書出現，不易為初學者所接受，也不適宜當教材之用。因此作者就重要的問題分成十二章討論。這十二章的結構實際上可以看成五個部份，第一部份為基礎篇，這些都是乾式氣相表面處理最常面臨的技術。第二部份為氣相技術篇，乃常見的乾式氣相表面處理技術。第三部份為液相技術篇，亦即最傳統的表面處理技術，包括無極鍍、化成、取代及電鍍和電鑄，陽極處理實際上相等於電化學反應的化成作用。第四部份為薄膜篇，包括薄膜的成長及微結構、薄膜的特性及量測。第五部份為前瞻篇，它們已脫離常見表面技術的章節，其中有微機電系統、奈米技術及表面的物理化學性質。本書適合大學、科大、技術學院機械工程、電機、電子材料、化學工程科系『薄膜技術』課程使用。

第1章　緒　論
一、表面處理的意義
二、表面處理的應用
三、表面處理的分類
四、技術選用考量因素
五、結　語

第2章　基本設備
一、溫度的量測
二、真空系統

第3章　認識電漿
一、電漿的產生
二、電漿的特性
三、電漿的化學反應
四、電漿在表面技術上的應用

第4章　物理蒸鍍
一、熱力學
二、氣體動力學
三、蒸　鍍
四、蒸鍍設備
五、合金蒸鍍
六、化合物蒸鍍
七、應　用

第5章　濺射鍍膜
一、前　言
二、粒子的撞擊
三、動能的轉移
四、撞擊效應
五、濺射的方法
六、濺射係數
七、濺射鍍膜技術
八、靶　材
九、濺鍍和熱蒸鍍的比較
十、應　用

第6章　化學氣相蒸鍍
一、前　言
二、化學問題
三、熱力學的問題
四、化學動力學的問題
五、CVD設備及系統
六、應　用

第7章　液相表面處理
一、前　言
二、前處理
三、無極電鍍
四、取代反應
五、化成被覆
六、電　鍍
七、陽極處理
八、電　鑄
九、廢水處理

第8章　薄膜的成長及微結構
一、前　言
二、表面前清理
三、薄膜的成長
四、微結構
五、磊　晶

第9章　薄膜特性及量測
一、前　言
二、厚　度
三、薄膜特性
四、表面分析儀器
五、其他表面分析儀器

第10章　表面蝕刻及微機電系統
一、圖樣化及蝕刻
二、微機電系統
三、矽製程

第11章　奈米技術
一、奈米材料
二、奈米科技發展史
三、奈米合成和表面技術
四、奈米材料之特徵
五、奈米材料之應用
六、結　語

第12章　表面的物理化學性質
一、前　言
二、表面張力
三、電　濕
四、L-B薄膜