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IC製程之濺射技術的圖書 |
IC製程之濺射技術 出版社:復漢出版社 |
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濺射技術本是放電現象中的特殊技術分野,但現已發展為半導體積體電路的薄膜形成技術,廣用於電子產業。最近更是高溫超電導陶瓷薄膜上不可或缺的要素技術。
第一章 序言
第二章 濺射的基礎
第三章 濺射裝置與基本特性
第四章 利用濺射的薄膜化
第五章 利用濺射的微細加工
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