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IC製程之濺射技術

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IC製程之濺射技術 IC製程之濺射技術

出版社:復漢出版社
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應用科學
圖書介紹 - 資料來源:三民網路書店   評分:
圖書名稱:IC製程之濺射技術
  • 圖書簡介

    濺射技術本是放電現象中的特殊技術分野,但現已發展為半導體積體電路的薄膜形成技術,廣用於電子產業。最近更是高溫超電導陶瓷薄膜上不可或缺的要素技術。

  • 目次

    第一章 序言
    第二章 濺射的基礎
    第三章 濺射裝置與基本特性
    第四章 利用濺射的薄膜化
    第五章 利用濺射的微細加工

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