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薄膜製作工藝學的圖書 |
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圖書介紹 - 資料來源：三民網路書店 評分：
圖書名稱：薄膜製作工藝學
- 圖書簡介
近年有關薄膜的技術、研究顯著進步，超高真空蒸著裝置、高周波濺散裝置普及。薄膜的核生成、成長、物理性質等已累積龐大數據。薄膜的應用已從鏡、透鏡包覆擴展到電子回路、表面波元件、光IC等最新科學技術分野。
- 目次
第1章 前言
第2章 製作薄膜時必要的真空裝置之基礎
第3章 真空蒸著法
第4章 濺散法
第5章 膜厚測定法
第6章 相關技術
第7章 尾語
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