LED製程化學清洗設備操作安全性研究 102藍S320

　　國內LED產業之化學清洗設備(wet bench)無論在採購、操作以及維護保養等情況與一般半導體與光電產業之wet bench均有所差異，本計畫針對LED產業使用之wet bench實施危害分析及使用安全性調查，主要目的在於提供該產業在採購、維修保養等查核基準。

　　研究主要成果如下：(1) 針對國內LED產業蒐集相關職災案例共15件，並進行災因分析；(2) 針對國內LED產業6個廠進行wet bench使用安全性調查，並完成統計分析；(3) 依照國內LED產業wet bench使用功能將設備分成27種類型，並參照相關國內外法規與標準、蒐集之產業職災案例、以及產業設備使用安全調查結果，依照各種設備類型建置wet bench設備安全查核表；(4) 透過國內LED產業訪視與資料蒐集，針對現場情況進行FTA、FMEA以及JSA風險評估分析；(5) 將FTA、FMEA以及JSA風險評估分析結果與wet bench設備安全查核表結合，製作出可供國內LED產業在採購、操作、維護使用之wet bench設備使用危害預防指引。

　　研究的建議如下 (1) 加熱器失效、化學品不相容反應、電氣短路以及靜電等因素建議業者將其作為採用Semi標準時的重點項目；(2) 國內LED產業wet bench設備採購主要以客製化為主，採購時廠商已經考量之重點為設備構造材質、液位偵測器與過溫失效安全連鎖，建議業者在採購、操作與維護上應多加注意電氣安全；(3) 有關化學清洗槽系統運作之管理及安全措施，建議須有一套評估化學品不相容性之標準作業流程，及設定變數操作人員權限，並確保維修作業或異常狀況排除時之互鎖功能。