五南文化廣場網路書店
三民網路書店第零章 前 言
第一章 晶片成長與晶片先前之準備工作
第二章 晶片清洗技術
第三章 真空系統及潔淨室之設計與管理
第四章 薄膜成長技術
第五章 熱氧化技術
第六章 金屬製程
第七章 微影製程技術
第八章 蝕刻技術
第九章 製程整合
第十章 IC組裝與封裝技術
第十一章 製程與元件之可靠度
第十二章 半導體製程常用的分析儀器
參考書目
| FindBook |
有 2 項符合
ULSI製程技術的圖書 |
| 圖書館借閱 |
| 國家圖書館 | 全國圖書書目資訊網 | 國立公共資訊圖書館 | 電子書服務平台 | MetaCat 跨館整合查詢 |
| 臺北市立圖書館 | 新北市立圖書館 | 基隆市公共圖書館 | 桃園市立圖書館 | 新竹縣公共圖書館 |
| 苗栗縣立圖書館 | 臺中市立圖書館 | 彰化縣公共圖書館 | 南投縣文化局 | 雲林縣公共圖書館 |
| 嘉義縣圖書館 | 臺南市立圖書館 | 高雄市立圖書館 | 屏東縣公共圖書館 | 宜蘭縣公共圖書館 |
| 花蓮縣文化局 | 臺東縣文化處 |
|
|
圖書介紹 - 資料來源：TAAZE 讀冊生活 評分：
圖書名稱：ULSI製程技術
本書內容包括晶片成長與晶片先前之準備工作、晶片清洗技術、真空系統及潔淨室之設計與管理、薄模成長技術、熱氧化技術、金屬製程、微影製程技術、蝕刻技術、製程整合、IC組裝與封裝技術、製程與元件之可靠度、半導體製程常用的分析儀器，幾乎涵蓋半導體製程中重要的技術。除對現行半導體製程技術循序漸進地分析討論外，亦對正開發中或來日之先進技術提出介紹，其編撰引用之資料既廣且博，內容詳盡、圖文並茂，是一本極適合作為大專院校相關課程教材，也是值得有志從事半導科技的同學及有心一窺半導體科技發展的社會大眾仔細閱讀的好書。
目錄
第零章 前 言
第一章 晶片成長與晶片先前之準備工作
第二章 晶片清洗技術
第三章 真空系統及潔淨室之設計與管理
第四章 薄膜成長技術
第五章 熱氧化技術
第六章 金屬製程
第七章 微影製程技術
第八章 蝕刻技術
第九章 製程整合
第十章 IC組裝與封裝技術
第十一章 製程與元件之可靠度
第十二章 半導體製程常用的分析儀器
參考書目
第一章 晶片成長與晶片先前之準備工作
第二章 晶片清洗技術
第三章 真空系統及潔淨室之設計與管理
第四章 薄膜成長技術
第五章 熱氧化技術
第六章 金屬製程
第七章 微影製程技術
第八章 蝕刻技術
第九章 製程整合
第十章 IC組裝與封裝技術
第十一章 製程與元件之可靠度
第十二章 半導體製程常用的分析儀器
參考書目
»看全部
商品資料
- 作者： 劉博文
- 出版社： 新文京出版 ISBN/ISSN：986150267X
- 語言：繁體中文 裝訂方式：平裝 頁數：592頁
- 類別： 中文書> 政府考用
|
