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矽晶圓半導體材料技術(第五版)(精裝本) 

的圖書
矽晶圓半導體材料技術 矽晶圓半導體材料技術

作者:林明獻-編 
出版社:全華圖書
出版日期:2019-09-01
規格:26cm*19cm*2.4cm (高/寬/厚) / 5 / 軟精 / 584頁
圖書介紹 - 資料來源:TAAZE 讀冊生活   評分:
圖書名稱:矽晶圓半導體材料技術(第五版)(精裝本) 

1.本書為國內第一本介紹矽晶圓材料的專業參考書籍。
2.本書詳細介紹矽晶的基本性質,矽晶圓材料的製造流程、矽晶圓缺陷控制以及矽晶圓性質檢測等單元,是一本從事半導體領域之學術研究與工程人員必備的專業書籍。 

目錄
1緒論
2矽晶的性質
第1節 結晶性質
第2節 半導體物理與矽晶的電性
第3節 矽的光學性質
第4節 矽的熱性質
第5節 矽的機械性質
3多晶矽原料的生產技術
第1節 塊狀多晶矽製造技術-Simens方法
第2節 塊狀多晶矽製造技術-AsiMi方法
第3節 粒狀多晶矽製造技術
4單晶生長
前言
第1節 單晶生長理論
第2節 CZ矽晶生長法(Czochralski Pulling)
第3節 MCZ矽單晶生長法
第4節 CCZ矽單晶生長法
第5節 FZ矽單晶生長法
第6節 矽磊晶生長技術
5矽晶圓缺陷
第1節 CZ矽晶的點缺陷與微缺陷
第2節 氧析出物(Oxygen Precipitation)
第3節 OISF(Oxidation I...
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