掌握微機電

1. 本書更新原「認識微機電」之內容，除了增加高分子微機電、微制動器、生醫微機電、微流體、微飛行器與微機電封裝等技術之專屬章節，協助讀者掌握最新微機電技術之外，各章開頭並引證聖經之嘉言美句，以啟畫龍點睛之效。

2. 各章安排之範例，主要針對筆者與國內外學者之精簡研究成果進行鋪陳，但盡可能減少艱深之數理推導，代之以物理現象與觀念之陳述，盼在善了大專教科書責任之餘，也為通俗科普之推廣貢獻一份心力。

3. 本書另備有各章投影片檔案與教師手冊，提供各校教師教學之用。讀者也可以直接瀏覽淡江大學網頁「教學支援平台」上作者公佈之補充資料，作為自修之參考。

楊龍杰  教授
學歷：國立臺灣大學應用力學研究所工學博士（1997年）
專長：微機電系統技術、微型飛行器

1.微機電科技簡介
2.半導體製程與設備
3.矽質微細加工
4.金氧半微機電技術
5.高深寬比微加工技術
6.高分子微機電技術
7.微感測器技術
8.微制動器技術
9.光學微機電系統技術
10.生醫微機電技術
11.微流體元件技術
12.微型飛行器
13.微機電之封裝與測試技術
14.微機電系統的產業展望
附錄A　Cadence layout 示範
附錄B　有限元素分析
附錄C　生物晶片部份重點提示