日本半導體界教父——菊地正典,集合40年業界心血結晶,完全介紹半導體工廠相關細節。
從設廠開始,各廠房的機台設備,水電來源,製程詳解,甚至提醒廠方與當地政府溝通,維持官商良好關係等。
除了半導體電子相關業界,也是各產業不能不讀的一本指南。
本書並由國立交通大學電子物理系教授 趙天生老師審定。
作者簡介:
菊地正典
1944年生,1968年日本東京大學工學部物理工學科畢業後,即進入日本電氣公司(NEC),從事一貫半導體元件及製程開發相關工作,累積半導體開發與量產的豐富經驗。1996年擔任NEC公司半導體事業集團總工程師,2000年擔任NEC電子元件總工程師,2002年起擔任日本半導體製造裝置協會(SEAJ)專務理事,2007年起擔任日本半導體能源研究所顧問。著作有:《圖解圖解電子裝置》(世茂出版),監修《圖解半導體製造裝置》(世茂出版)、《日本頂尖工程師的生存筆記》(智富出版)。
目錄
第1章 進入半導體工廠
第2章 半導體是這樣製造的
第3章 半導體製造的幕後製程
第4章 半導體材料、機械、設備
第5章 檢驗、篩選錯誤與出貨
第6章 「默契、原則」與潛規則
第7章 工廠員工真正的想法—工廠因人而存在!
第8章 半導體工廠的秘密
第1章 進入半導體工廠
第2章 半導體是這樣製造的
第3章 半導體製造的幕後製程
第4章 半導體材料、機械、設備
第5章 檢驗、篩選錯誤與出貨
第6章 「默契、原則」與潛規則
第7章 工廠員工真正的想法—工廠因人而存在!
第8章 半導體工廠的秘密