工研院量測中心

第一章導論1.1奈米科技概念的形成與演進1.1.1奈米科技的源起與定義1.1.2產業技術發展對奈米科技之需求1.2奈米計量標準的演進1.2.1奈米與計量單位1.2.2奈米尺寸標準比對要項1.2.3奈米科技量測項目之多樣性需求1.3奈米科技對檢測與計量標準的需求1.3.1量測技術對奈米科技之影響1.3.2國外奈米檢測與計量標準需求重點1.4建構國際奈米檢測與計量標準的完整體系1.4.1國際計量組織1.4.2國家度量衡標準實驗室(NML)1.4.3中華民國實驗室認證體系與財團法人全國認證基金會第二章奈米計量標準2.1國際單位制2.1.1源起2.1.2七個基本單位2.1.3國際單位制之特點2.2奈米科技計量標準2.2.1奈米科技概念2.2.2涵蓋範圍2.2.3量測追溯鏈2.2.4奈米技術計量標準計畫2.3尺寸參數量測追溯2.3.1奈米尺寸追溯之量測參數選擇2.3.2薄膜厚度量測2.3.3奈米粒徑尺寸量測2.4機械特性量測追溯2.4.1奈米元件機械性質量測2.4.2奈米探針施力標準量測2.4.3奈米元件寬頻振動標準量測2.4.4微流量量測標準2.5光電磁特性量測追溯2.5.1微影光功率量測標準2.5.2電性參數標準2.5.3磁場量測標準第三章奈米粒子3.1產業應用3.2粒子奈米特性3.2.1尺寸與表面積效應3.2.2熱力學特性之改變3.2.3催化方面之應用與光觸媒3.2.4生醫技術之應用3.3量測方法與設備3.3.1穿透式∕掃描式電子顯微鏡(TEM∕SEM)3.3.2原子力顯微鏡(AFM)3.3.3光繞射法(LightDiffraction)3.3.4光散射法(LightScattering)3.3.5小角度X光∕中子散射(SAXS/SANS)3.4粒子標準參考物質與量測校正標準之追溯3.4.1粒子粒徑參考物質3.4.2差分流動分析法(DMA)3.4.3量測儀器的追溯3.4.4100nm以下之粒子標準3.5結論第四章奈米薄膜4.1薄膜機械性質萃取技術4.1.1薄膜機械性質與微機電系統應用4.1.2薄膜楊氏係數萃取4.1.3薄膜蒲松比萃取4.1.4薄膜殘餘應力檢測4.1.5薄膜硬度值檢測4.1.6薄膜其他機械常數萃取4.2壓痕測試系統(IndentationTestingSystem)4.2.1薄膜機械性質量測方法4.2.2系統簡介4.2.3系統之組成4.2.4系統規格4.3薄膜厚度量測技術4.3.1簡介4.3.2膜厚量測技術4.4薄膜表面波傳性質特性量測4.4.1簡介4.4.2脈衝雷射產生表面聲波之技術4.4.3光學干涉儀偵測超音波4.4.4從表面聲波的頻散解出材料特性之方法4.4.5結論第五章奈米電子元件5.1矽電晶體奈米元件5.1.1簡介5.1.2矽奈米元件結構與限制5.1.3CMOS元件功能之改善方法5.1.4典型CMOS特性量測5.1.5結論5.2量子點(QuantumDot)5.2.1簡介5.2.2InAs/GaAs量子點雷射之發展沿革5.2.3量子點的形成機制—自我組裝機構5.2.4InAs量子點雷射的磊晶成長與其特性5.2.5結語5.3單電子元件5.3.1原理5.3.2單電子計量元件5.3.3現階段發展與應用5.4自旋電子(Spintronics)5.4.1簡介5.4.2基本原理5.4.3結論第六章奈米碳管6.1電性性質(ElectricalProperty)6.1.1電性性質之重要性與產業需求應用6.1.2半導體性奈米碳管之元件與電性量測結果6.1.3金屬性奈米碳管之電性量測結果6.1.4專利探討6.1.5未來發展6.2磁性性質(MagneticProperty)6.2.1前言6.2.2磁效應量測技術6.2.3磁效應實驗結果6.2.4磁效應未來展望6.3機械性質(MechanicalProperty)6.3.1前言6.3.2機械性質重要性與產業需求應用6.3.3機械性質量測技術6.3.4機械性質實驗結果6.3.5奈米碳管之製備6.3.6機械效應之未來展望第七章高密度儲存媒體7.1光碟儲存媒體與檢測技術7.1.1光碟紀錄點尺寸量測7.1.2相變化儲存媒體量測7.2磁碟儲存媒體與檢測技術7.2.1硬碟量測7.2.2磁頭量測7.3新近資料儲存方法與檢測技術7.4結論第八章奈米生物醫學8.1生物醫藥之應用8.1.1簡介8.1.2生化反應之標籤8.1.3利用奈米載體之投藥標識8.1.4量子點在生物醫學上之應用8.2奈米藥物檢測技術8.2.1簡介8.2.2奈米分子之檢測應用8.2.3攜帶藥物的奈米分子8.2.4奈米探測器8.2.5奈米粒子的其他應用8.3蛋白質檢測技術8.3.1簡介8.3.2蛋白質之功能8.3.3奈米矽球之應用8.3.4蛋白質生物馬達分子之設計8.3.5蛋白質生物晶片8.4細胞、微生物與病毒檢測8.4.1簡介8.4.2現行癌症篩檢方式8.4.3國內外發展現況8.4.4結論8.5去氧核醣核酸(DNA)檢測8.5.1簡介8.5.2膠體電泳法8.5.3原子力顯微鏡觀測8.5.4微陣列技術8.5.5奈米陣列晶片8.5.6DNA與金箔奈米粒子8.6電子舌之液體基質檢測技術8.6.1簡介8.6.2技術發展8.6.3結論8.7電子鼻之氣體物質檢測技術8.7.1簡介8.7.2感測原理8.7.3電子鼻之技術發展8.7.4未來發展方向中文名詞索引英文名詞索引

第一章導論1.1奈米科技概念的形成與演進1.1.1奈米科技的源起與定義1.1.2產業技術發展對奈米科技之需求1.2奈米計量標準的演進1.2.1奈米與計量單位1.2.2奈米尺寸標準比對要項1.2.3奈米科技量測項目之多樣性需求1.3奈米科技對檢測與計量標準的需求1.3.1量測技術對奈米科技之影響1.3.2國外奈米檢測與計量標準需求重點1.4建構國際奈米檢測與計量標準的完整體系1.4.1國際計量組織1.4.2國家度量衡標準實驗室(NML)1.4.3中華民國實驗室認證體系與財團法人全國認證基金會第二章奈米計量標準2.1國際單位制2.1.1源起2.1.2七個基本單位2.1.3國際單位制之...