半導體被稱為是電子產業之米，台灣IC產業經過二十幾年的發展之後，有獨特的優越性，廠商間的技術高度交流、活絡的資本市場、高品質的人力資源、產官學研的合作等因素形成良性循環，已發展成為完整的產業供應鏈與叢聚效應，然而也由成長期邁向成熟期，因此也有業者質疑高毛利時代是否已經結束？台灣的高科技產業面對全世界的競爭與大陸的崛起，有許多亟待解決的重要問題，特別是在「後摩爾時代」的逐漸來臨和「微利時代」的生存挑戰下，僅由創新經營模式或技術快速研發躍進賺取「機會財」是不夠的，而「殺雞取卵」的進行削價競賽都不是長久之計，必須結合管理方法與系統解決方案以賺取「管理財」，才是台灣高科技產業在知識經濟時代的永續經營之道。本書第一篇為製造工程篇，內含十個章節，將半導體的製造技術做為論述之重點，以製程整合為整體之架構，詳述各製程相關模組所扮演的角色以及如何做好品質保證之確認，最後介紹相關的自動化技術及廠務設施與需求。第二篇為生產管理篇，內含十一個章節，以半導體廠之生產規劃與管理為主軸，並以實際之範例說明管理方法之應用，諸如生產指標之設立與追蹤，產能的規劃與設計，人員的管理與激勵，資料之取得與應用，主管決策系統之建立及如何做好知識之管理與運用分享等。
目錄
目錄‧CH1緒論1-1第一篇製造工程篇.......................................................................................................1-1‧CH2製程整合工程...................................................................................................2-1 2.1緒論...................................................................................................................2-1 2.2解釋名詞..........................................................................................................2-14 2.3製程、設備說明.............................................................................................2-26 2.4應用...................................................................................................................2-42 參考文獻................................................................................................................2-45‧CH3微影成像製造工程...........................................................................................3-1 3.1緒論...................................................................................................................3-1 3.2解釋名詞..........................................................................................................3-5 3.3製程、設備說明.............................................................................................3-23 3.4應用...................................................................................................................3-29 參考文獻................................................................................................................3-33‧CH4蝕刻製程............................................................................................................4-1 4.1緒論...................................................................................................................4-1 4.2解釋名詞..........................................................................................................4-2 4.3製程、設備說明.............................................................................................4-21 4.4應用...................................................................................................................4-35 參考文獻................................................................................................................4-39‧CH5薄膜製造工程...................................................................................................5-1 5.1緒論...................................................................................................................5-1 5.2解釋名詞..........................................................................................................5-4 5.3薄膜製程、設備說明.....................................................................................5-20 5.4應用...................................................................................................................5-45 參考文獻................................................................................................................5-47‧CH6擴散製造工程...................................................................................................6-1 6.1緒論...................................................................................................................6-1 6.2解釋名詞..........................................................................................................6-2 6.3製程、設備說明.............................................................................................6-12 6.4應用...................................................................................................................6-35 參考文獻................................................................................................................6-40‧CH7化學研磨製造工程...........................................................................................7-1 7.1緒論...................................................................................................................7-1 7.2解釋名詞..........................................................................................................7-5 7.3製程、設備說明.............................................................................................7-18 7.4應用...................................................................................................................7-23 7.5未來發展趨勢..................................................................................................7-24‧CH8品質保證工程...................................................................................................8-1 8.1緒論...................................................................................................................8-2 8.2解釋名詞..........................................................................................................8-3 8.3新產品、新製程之驗證................................................................................8-17 8.4製程品質管制..................................................................................................8-24 8.5客戶訴願處理..................................................................................................8-31 8.6品質系統..........................................................................................................8-33 參考文獻................................................................................................................8-35‧CH9廠務工程............................................................................................................9-1 9.1潔淨室系統......................................................................................................9-1 9.2純水系統及廢水處理系統............................................................................9-11 9.3氣體及化學系統.............................................................................................9-23 9.4電力系統..........................................................................................................9-30‧CH10自動化工程......................................................................................................10-1 10.1緒論.................................................................................................................10-1 10.2解釋名詞........................................................................................................10-2 10.3半導體資訊系統的引進與評估.................................................................10-10 10.4半導體前段資訊系統之架構和功能說明................................................10-20 10.5半導體機台自動化整合..............................................................................10-32 10.6自動倉儲傳送系統.......................................................................................10-39 10.7網路&半導體產業.......................................................................................10-44 10.8半導體資訊管理相關系統簡介.................................................................10-49 參考文獻................................................................................................................10-52第二篇生產管理篇......................................................................................................10-1‧CH11半導體製造系統.............................................................................................11-1 11.1半導體製造系統的離散事件模式.............................................................11-1 11.2裴氏圖的基本定義.......................................................................................11-6 11.3半導體製造系統的裴氏圖表達機制.........................................................11-9 11.4半導體製造系統與管理..............................................................................11-16 參考文獻................................................................................................................11-17‧CH12半導體廠生產管理.........................................................................................12-1 12.1緒論.................................................................................................................12-1 12.2半導體工廠組織與功能簡介......................................................................12-2 12.3半導體製造系統特性...................................................................................12-3 12.4半導體生產管理目標與任務......................................................................12-8 12.5指標簡介........................................................................................................12-12‧CH13半導體廠生產規劃.........................................................................................13-1 13.1緒論................................................................................................................13-1 13.2生產規劃管理的目的與內容.....................................................................13-2 13.3半導體廠產能規劃.......................................................................................13-12 參考文獻................................................................................................................13-17‧CH14生產線排程與派工.........................................................................................14-1 14.1緒論.................................................................................................................14-1 14.2半導體廠生產排程.......................................................................................14-2 14.3半導體廠現場派工.......................................................................................14-9 參考文獻................................................................................................................14-16‧CH15生產現場管理.................................................................................................15-1 15.1人力資源管理................................................................................................15-2 15.2機台管理........................................................................................................15-7 15.3現場生產系統與管理實務..........................................................................15-16 15.4控擋片管理....................................................................................................15-20 15.5潔淨室管理...................................................................................................15-28 參考文獻................................................................................................................15-29‧CH16製程轉移與量產管理....................................................................................16-1 16.1緒論.................................................................................................................16-1 16.2半導體廠新製程、產品開發到量產的流程............................................16-3 16.3半導體廠新製程技術移轉..........................................................................16-7 16.4半導體廠新製程量產管理..........................................................................16-17 參考文獻................................................................................................................16-23‧CH17統計製程管制.................................................................................................17-1 17.1品質管理.........................................................................................................17-1 17.2品質管制七大手法.......................................................................................17-6 17.3統計製程管制................................................................................................17-16 17.4管制圖.............................................................................................................17-17 17.5計量值管制圖...............................................................................................17-21 17.6計量值管制圖................................................................................................17-31 17.7統計方法在半導體製造的應用.................................................................17-34 參考文獻................................................................................................................17-36‧CH18資料挖礦..........................................................................................................18-1 18.1緒論.................................................................................................................18-1 18.2知識發現與資料挖礦..................................................................................18-2 18.3資料挖礦工具................................................................................................18-7 18.4資料挖礦挖掘結果類型..............................................................................18-13 18.5資料挖礦於半導體製造之應用.................................................................18-16 參考文獻................................................................................................................18-55‧CH19半導體業之決策分析與問題解析...............................................................19-1 19.1前言.................................................................................................................19-1 19.2決策分析........................................................................................................19-2 19.3實例應用之問題解析...................................................................................19-26 19.4結論.................................................................................................................19-65 參考文獻................................................................................................................19-66‧CH20主管決策支援系統.........................................................................................20-1 20.1高階主管資訊系統的簡介..........................................................................20-1 20.2EIS的定義.......................................................................................................20-2 20.3EIS的特性.......................................................................................................20-3 20.4EIS在資訊系統中扮演的角色....................................................................20-4 20.5開發EIS的程序..............................................................................................20-7 20.6設計EIS的使用介面.....................................................................................20-8 20.7EIS雛型系統的展示.....................................................................................20-10 參考文獻................................................................................................................20-18‧CH21績效衡量與知識管理....................................................................................21-1 21.1前言.................................................................................................................21-1 21.2解釋名詞........................................................................................................21-2 21.3文獻回顧........................................................................................................21-3 21.4整合性績效管理系統及其發展程序.........................................................21-8 21.5總結..................................................................................................................21-33 參考文獻................................................................................................................21-33英文索引.........................................................................................................................37作者簡介.........................................................................................................................48
目錄‧CH1緒論1-1第一篇製造工程篇.......................................................................................................1-1‧CH2製程整合工程...................................................................................................2-1 2.1緒論...................................................................................................................2-1 2.2解釋名詞........................................................................................................
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