微機電系統技術

序

　　微機電技術的嶺展，雖然在1980年代已經開始，但都是基於矽晶技術的發展，製作深寬比小於1的感測器為主。在90年代，德國發展出利用 X光進行深刻模造技術以後，深寬比已可達到數百的微機電感測器、致動器才開始出現；目前已商品化的產品如可見光譜儀、慣性陀螺儀 … 等，配合最新發展的神經網路，三度空問的生物電子晶片預期也即將在廿一世紀初葉問世。

　　微機電技術不僅帶動了新興產業的興起，它也使人類許多夢想成真，工業產品不僅走向短、小、輕、薄，也使廿世紀資訊電子二度空問產品走向三度空問。我國在科技嶺展上早已把微機電技術視為重點。國科會不僅在北、中、南分別成立微機電研究中心，更在南部科學園區闢有專區以供發展精密機械及微機電產業之用。孟博士早期服務於國防科技單位，並先後任教於清大、交大、台大，今以其於台大電機系講授「微機電系統技術」累積教學相長的經驗而編著本書，為國內當前第一本微機電之中文教科書，用文深入淺出並佐以相當多的圖片，為本書之特色。相信本書的出現，將對我國微機電技術知識的擴散有相當貢獻。