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近代穿透式電子顯微鏡實務的圖書 |
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本書以穿透式電鏡初學者和材料分析工程師為主要對象,內容包含三點異於其他電鏡書籍的特色:
1. 以穿透式電鏡基本原理和材料分析實務為主。
2. 介紹近代加入個人電腦控制與輔助的穿透式電鏡的操作方法。
3. 介紹二十一世紀後才開始在台灣半導體材料分析盛行的電子能量損失能譜術。
後兩項在台灣中文電鏡教科書中都還尚未被提及。
第二版內容除仍秉持以TEM/STEM實務為主外,理論基礎也同時加深一些。希冀讀者能從此版的內容中獲得更進一步的TEM/STEM技術。
鮑忠興
1960年生於台灣省澎湖縣,1982年交通大學機械系畢業,入中山大學材料科學工程研究所,開始接觸TEM,1984年獲碩士學位。1994年獲美國亞利桑那州立大學(ASU)材料科學工程博士(哲學博士),並於該校固態科學中心(CSSS)從事一年博士後研究。1995年返國進工研院材料所微結構分析實驗室,歷任研究員、主任等職。2001年入聯電故障分析部門,歷任資深工程師、經理、部經理等職。2005年擔任超泰科技技術顧問。現為閎康科技股份有限公司TEM部門副處長。凡從事電子顯微鏡材料分析工作廿餘載。
劉思謙
1974年生於台北市。1994年國立台北工專材料與資源工程科畢業,於同年入伍服役。1997年以同等學歷資格考取國立成功大學材料科學與工程研究所碩士班,於1999年取得碩士學位前開始接觸TEM。同年考取國立交通大學材料科學與工程研究所博士班後,承蒙鮑忠興博士有系統的教導TEM的相關知識與操作技巧,2003年取得國立交通大學工學博士學位。
2003至2005年於台灣積體電路股份有限公司服務,歷任良率改善服務部、故障分析服務部門的工程師與主任工程師等職。2005至2010年在台灣大學凝態科學中心擔任博士後研究員,繼續從事電子顯微鏡材料分析工作。2010年起為台灣大學凝態科學中心助理研究學者。
第1章 穿透式電子顯微鏡結構與功能
第2章 電子繞射
第3章 影像
第4章 掃描穿透式電鏡與高分辨高角環形暗場像
第5章 成份分析
第6章 TEM試片製備
附錄1 TEM紀事
附錄2 常用的常數
附錄3 立體投影圖
附錄4 常用TEM電子束波長與加速電壓對應表
附錄5 EDS主要能峰 (Kα, Kβ, Lα, Mα) 鑑定表
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