微光機系統設計與模擬

本書特色是以漸進式學習，及淺顯易懂的文字介紹微光機電系統的設計，模擬流程及其應用，並為使部份沒有微光機電及半導體製程背景的初學者，能迅速的進入微光機電領域，特在書中以「熱致動器」為例，提出完整的設計與其模擬流程。本書亦有詳盡的例題說明及最實用的設計知識，配合作者的操作經驗，期許初學者研讀完本書後，能夠自行設計及模擬微光機電元件。

　　縱使讀者沒有學過如何繪製光罩，可以藉由本書得到繪製光罩的基礎知識，而對已有的繪製光罩的讀者，更能藉由本書體驗設計微光機電元件的樂趣。

　　本書是使用商用軟體TannerEDA及IntelliSuite,除能使初學者有微光機電的基礎知識外，更能擁有繪製光罩及模擬微光機電元件性能的技巧，達到獨立設計及模擬微元件的能力。