積體電路製程模擬與分析

扼要敘述積體電路製程的基本理論。
介紹積體電路製程模擬軟體SSUPREM3的基本使用。
根據積體電路製程的基本理論，設計44個SSUPREM3模擬例題。
利用SSUPREM3模擬，配合圖形、表格與數值分析方法討論積體電路製程的原理與參數的計算。
隨書附贈之光碟中包含所有例題之模擬程式及圖形，計算χj、Rs及Smith積分之MATLAB程式以及SSUPREM3的簡易使用說明。